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油泵的污染源及解决方法 

日期:2022-01-05 15:45:03    打印
    油扩散泵抽气系统最大的缺点是油蒸气的污染。以下是具体措施和污染源:
    消除系统油蒸汽回流的具体措施如下:
    (1)油泵改变系统的操作过程,通过阀门避免逆流危险区(切换转移区域)。例如,也可以逐渐打开以规定速度打开的高真空阀,使进入扩散泵的气体流量在最大排气量以下,另外提高机械式泵的吸引速度,确保扩散泵的前段压力,使扩散泵能够工作。这样可以避免过渡区的出现。
    (2)增大扩散泵的启动功率,缩短机械泵和扩散泵切换时的压力过渡区域。 DYWS液下式多用泵
    (3)在扩散泵入口设置液态氢冷阱或吸附阱,捕集回流油蒸气。
  (4)改进操作技术,将扩散泵的加热功率调整到最佳功率,避免泵油爆炸现象;一般的扩散泵在加热开始时和关闭时逆流会出现峰值,因此可以通过泵端口的高真空阀进行控制以避免逆流。
  (5)使用优质的扩散泵工作液。
    系统内污染物的主要来源如下:
    (1)抽气系统中密封材料放气造成的污染。特别是人造橡胶密封件、密封油脂、润滑油等也同样造成了严重的污染。
    (2)扩散泵油、蒸汽的逆流。这是最严重的污染源。
    (3)前段油封机械泵油的逆流。这个问题也很严重,入口压力高的情况下,达到过渡区(1~10-1Pa)的压力时,机械泵的油蒸气可以直接进入扩散泵内,直接污染系统。许多真空工艺的污染来自机械泵的回油。如果停止机械泵时,泵内不立即进入大气,机械泵的油可以直接放回扩散泵的油锅。扩散泵启动时对系统的污染更为严重。
    (4)系统内的零件在组装时用有油的手握着。 用油污的手套拿着,这样附着的有机分子会引起系统内的污染。
    (5)停止泵后释放大气时,真空部件会在空气中附着水蒸气、油烟等,引起对真空系统的污染。